天猫正版半导体工艺与集成电路制造技术 韩郑生 科学出版社

《正版半导体工艺与集成电路制造技术》由韩郑生编著，科学出版社出版，是一本系统介绍半导体制造工艺与集成电路制造技术的专业教材。本书全面涵盖硅材料制备、光刻、薄膜沉积、刻蚀、掺杂、化学机械抛光等核心工艺环节，并结合先进制程发展趋势，深入讲解纳米级集成电路的制造流程与关键技术。内容兼具理论深度与实践指导，适合微电子、集成电路工程及相关专业本科生、研究生学习使用，也可供半导体行业技术人员参考。书中注重工艺原理与实际应用的结合，配有丰富的图表与实例，有助于读者理解复杂制造过程，提升工程实践能力，是半导体领域教学与科研的重要参考资料。