天猫正版半导体工艺与集成电路制造技术 韩郑生 科学出版社

《正版半导体工艺与集成电路制造技术》由韩郑生编著，科学出版社出版，是一本系统介绍半导体制造工艺与集成电路制造技术的专业教材。全书内容涵盖硅材料制备、光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂、化学机械抛光等关键工艺环节，并结合先进制程发展趋势，深入讲解CMOS、FinFET等主流器件结构及其制造流程。书中注重理论与实践结合，配有大量工艺流程图与实例分析，便于读者理解复杂工艺原理。本书适用于微电子、集成电路工程及相关专业的本科生、研究生教学，也可供从事半导体研发与生产的工程技术人员参考，是掌握现代集成电路制造核心技术的重要学习资料。