天猫正版集成电路制造技术 原理与工艺 第3版 田丽 电子工业出版社 工程和信息部规划教材 电路制造教材教程书籍

《正版集成电路制造技术原理与工艺 第3版》由田丽编著，电子工业出版社出版，是工程与信息类专业规划教材之一。本书系统阐述了集成电路制造的基本原理、关键工艺及最新技术进展，涵盖硅片制备、光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂、化学机械抛光等核心环节，内容兼顾理论基础与工程实践。第3版结合当前半导体行业发展趋势，更新了先进制程技术、新材料应用及智能制造相关内容，适合作为高等院校微电子、集成电路、电子信息等专业的教材，也可供相关工程技术人员参考，助力培养高素质集成电路制造人才。