天猫正版芯片制造半导体工艺制程实用教程 第六版 彼得·范·赞特 图化薄膜工艺尖端技术 本研教材书籍 电子工业出版社

《正版芯片制造：半导体工艺制程实用教程（第六版）》由彼得·范·赞特（Peter Van Zant）著，电子工业出版社出版，是半导体制造领域的权威教材。本书系统阐述了从硅片制备到集成电路成型的完整工艺流程，重点涵盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂及化学机械抛光等核心技术。第六版新增对先进节点（如7nm及以下）工艺、极紫外光刻（EUV）及三维集成等尖端技术的图解说明，辅以大量工艺流程图与实例，深入浅出。本书兼具理论深度与实践指导价值，被全球众多高校和半导体企业广泛采用，是研究生、工程师及科研人员掌握现代芯片制造技术的必备参考书。