天猫正版芯片制造半导体工艺制程实用教程 第六版 彼得·范·赞特 图化薄膜工艺尖端技术 本研教材书籍 电子工业出版社

《正版芯片制造：半导体工艺制程实用教程（第六版）》由彼得·范·赞特（Peter Van Zant）著，电子工业出版社出版，是半导体制造领域的权威教材。本书系统介绍了从硅片制备到集成电路成型的完整工艺流程，重点涵盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂及化学机械抛光等关键技术。第六版新增图化薄膜工艺、先进节点（如7nm及以下）制造挑战及尖端技术解析，结合大量图表与实例，深入浅出，兼具理论性与实践指导意义。适用于微电子、集成电路工程等专业研究生及科研人员，是从事芯片制造与工艺研发人员的重要参考书，助力读者掌握现代半导体制造的核心技术与发展趋势。